Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması. - DURAN, Semih; YILMAZ, Ahmet Melik; ÇİÇEK, Hikmet (Gümüshane Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi, 2025)