OTIMIZAÇÃO DO TRANSDUTOR DE PRESSÃO DE SEMICONDUTORES COM ELEMENTO SENSÍVEL BASEADO NA ESTRUTURA DE "SILÍCIO SOBRE SAFIRA".
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| Title: | OTIMIZAÇÃO DO TRANSDUTOR DE PRESSÃO DE SEMICONDUTORES COM ELEMENTO SENSÍVEL BASEADO NA ESTRUTURA DE "SILÍCIO SOBRE SAFIRA". |
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| Alternate Title: | OPTIMIZATION OF SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCER WITH SENSITIVE ELEMENT BASED ON "SILICON ON SAPPHIRE" STRUCTURE. ОПТИМИЗАЦИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДАВЛЕНИЯ С ЧУВСТВИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕМЕНТОМ НА ОСНОВЕ СТРУКТУРЫ «КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ» |
| Authors: | GAVRYUSHIN, Sergey S.1, SKVORTSOV, Pavel A.2 SkvortsovPA@ya.ru, SKVORTSOV, Arkady A.2 |
| Source: | Periódico Tchê Química. 2018, Vol. 15 Issue 30, p678-686. 9p. |
| Database: | Academic Search Ultimate |
| ISSN: | 18060374 |
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