O EFEITO DE CAMADAS DIELÉTRICAS FINAIS DO SILÍCIO NA DINÂMICA DE AQUECIMENTO DE INTERCONEXÃO EM CHOQUE TÉRMICO.
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| Title: | O EFEITO DE CAMADAS DIELÉTRICAS FINAIS DO SILÍCIO NA DINÂMICA DE AQUECIMENTO DE INTERCONEXÃO EM CHOQUE TÉRMICO. |
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| Alternate Title: | THE EFFECT OF THIN DIELECTRIC LAYERS AT SILICON ON INTERCONNECTION HEATING DYNAMICS AT THERMAL SHOCKS. ВЛИЯНИЕ ТОНКИХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ НА КРЕМНИИ НА ДИНАМИКУ НАГРЕВА МЕЖСОЕДИНЕНИЙ В УСЛОВИИ ТЕПЛОВЫХ УДАРОВ. |
| Authors: | SKVORTSOV, Arkadiy A.1 skvortsovaa2009@yandex.ru, ZUEV, Sergey M.2, KORYACHKO, Marina V.3, SKVORTSOVA, Anna A.1 |
| Source: | Periódico Tchê Química. 2019, Vol. 16 Issue 33, p448-456. 9p. |
| Database: | Academic Search Ultimate |
| ISSN: | 18060374 |
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