Optimierung des Plasmaätzens von komplexen Geometrien dank des 3-D-Ätzindikator von PLATIT.

Saved in:

Bibliographic Details
Title:	Optimierung des Plasmaätzens von komplexen Geometrien dank des 3-D-Ätzindikator von PLATIT.
Authors:	Lümkemann, Andreas¹, Zemlicka, Radek², Yuan Li², Tapp, Peter³, Bolvardi, Hamid⁴
Source:	Diamant Hochleistungswerkzeuge. 2022, Issue 1, p18-21. 4p.
Database:	Academic Search Ultimate

Description
ISSN:	18684459