Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması.

Saved in:

Bibliographic Details
Title:	Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması.
Alternate Title:	Investigation of the effect of different nitrogen flow rates on the structural and tribological properties of TiWSiN thin films deposited by magnetron sputtering.
Authors:	DURAN, Semih¹ semih.duran@kafkas.edu.tr, YILMAZ, Ahmet Melik², ÇİÇEK, Hikmet²
Source:	Gümüshane Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi. 2025, Vol. 15 Issue 3, p740-752. 13p.
Database:	Academic Search Ultimate

Description
ISSN:	2146538X
DOI:	10.17714/gumusfenbil.1664390