View in EDS PDF Full Text

Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması.

Saved in:
Bibliographic Details
Title: Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması.
Alternate Title: Investigation of the effect of different nitrogen flow rates on the structural and tribological properties of TiWSiN thin films deposited by magnetron sputtering.
Authors: DURAN, Semih1 semih.duran@kafkas.edu.tr, YILMAZ, Ahmet Melik2, ÇİÇEK, Hikmet2
Source: Gümüshane Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi. 2025, Vol. 15 Issue 3, p740-752. 13p.
Database: Academic Search Ultimate
FullText Links:
  – Type: pdflink
Text:
  Availability: 0
Header DbId: asn
DbLabel: Academic Search Ultimate
An: 188271320
AccessLevel: 2
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 0
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması.
– Name: TitleAlt
  Label: Alternate Title
  Group: TiAlt
  Data: Investigation of the effect of different nitrogen flow rates on the structural and tribological properties of TiWSiN thin films deposited by magnetron sputtering.
– Name: Author
  Label: Authors
  Group: Au
  Data: <searchLink fieldCode="AR" term="%22DURAN%2C+Semih%22">DURAN, Semih</searchLink><relatesTo>1</relatesTo><i> semih.duran@kafkas.edu.tr</i><br /><searchLink fieldCode="AR" term="%22YILMAZ%2C+Ahmet+Melik%22">YILMAZ, Ahmet Melik</searchLink><relatesTo>2</relatesTo><br /><searchLink fieldCode="AR" term="%22ÇİÇEK%2C+Hikmet%22">ÇİÇEK, Hikmet</searchLink><relatesTo>2</relatesTo>
– Name: TitleSource
  Label: Source
  Group: Src
  Data: <searchLink fieldCode="JN" term="%22Gümüshane+Üniversitesi+Fen+Bilimleri+Enstitüsü+Dergisi%22">Gümüshane Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi</searchLink>. 2025, Vol. 15 Issue 3, p740-752. 13p.
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=asn&AN=188271320
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Identifiers:
      – Type: doi
        Value: 10.17714/gumusfenbil.1664390
    Languages:
      – Code: tur
        Text: Turkish
    PhysicalDescription:
      Pagination:
        PageCount: 13
        StartPage: 740
    Titles:
      – TitleFull: Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması.
        Type: main
  BibRelationships:
    HasContributorRelationships:
      – PersonEntity:
          Name:
            NameFull: DURAN, Semih
      – PersonEntity:
          Name:
            NameFull: YILMAZ, Ahmet Melik
      – PersonEntity:
          Name:
            NameFull: ÇİÇEK, Hikmet
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 07
              Text: 2025
              Type: published
              Y: 2025
          Identifiers:
            – Type: issn-print
              Value: 2146538X
          Numbering:
            – Type: volume
              Value: 15
            – Type: issue
              Value: 3
          Titles:
            – TitleFull: Gümüshane Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi
              Type: main
ResultId 1