Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması.
Saved in:
| Title: | Magnetron sıçratma yöntemiyle biriktirilen TiWSiN ince filmlerin yapısal ve tribolojik özelliklerine farklı azot akış hızlarının etkisinin araştırılması. |
|---|---|
| Alternate Title: | Investigation of the effect of different nitrogen flow rates on the structural and tribological properties of TiWSiN thin films deposited by magnetron sputtering. |
| Authors: | DURAN, Semih1 semih.duran@kafkas.edu.tr, YILMAZ, Ahmet Melik2, ÇİÇEK, Hikmet2 |
| Source: | Gümüshane Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi. 2025, Vol. 15 Issue 3, p740-752. 13p. |
| Database: | Academic Search Ultimate |
Be the first to leave a comment!
