DEPOSICION DE PELICULAS DE ZIRCONIO/NITRURO DE ZIRCONIO EN FORMA DE MULTICAPAS POR MAGNETRON SPUTTERING REACTIVO.
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| Title: | DEPOSICION DE PELICULAS DE ZIRCONIO/NITRURO DE ZIRCONIO EN FORMA DE MULTICAPAS POR MAGNETRON SPUTTERING REACTIVO. |
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| Authors: | Caicedo A., J. C.1, Prieto, P.1, Caicedo R., J. M.2, Bejarano G., G.2, Balogh, Adam G.2, Gottschalk, S.3 |
| Source: | Revista Colombiana de Física. 2006, Vol. 38 Issue 2, p529-532. 4p. |
| Database: | Academic Search Ultimate |
| ISSN: | 01202650 |
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